等离子体模块

低温非平衡放电模拟

等离子体模块

方形线圈放置在介质窗上方,通过电激励在充满氩气的腔室中形成等离子体。在电磁感应维持下,能量从电磁场转移到电子上。

专用于低温等离子体的源和系统的仿真接口

等离子体模块专门用于仿真低温等离子体的源和系统。工程师和科学家可以使用它来深入理解放电的物理过程,并衡量现有或未来设计的性能。本模块可以进行任意空间维度(一维、二维和三维)的分析。由于特殊的性质,等离子体系统是具有高度非线性的复杂系统。电学输入参数或等离子体化学的微小变化可能会导致放电特性的显著变化。

等离子体——一种重要的多物理场系统

低温等离子体代表着流体力学、反应工程、物理动力学、传热、质量传递和电磁学的强耦合,换句话说,这是一种非常重要的多物理场系统。等离子体模块是用于模拟很多工程学科中发生的非平衡放电现象的专用工具。其中含有一组物理场接口,可以模拟任意放电系统。可以仿真的现象包括:直流放电、电感耦合等离子体和微波等离子体等。等离子体模块随附了大量带有详细文档说明的示例模型,其中包含模拟过程的操作步骤说明以及用户指南。

Capacitively Coupled Plasma Analysis

In-Plane Microwave Plasma

GEC ICP Reactor, Argon Chemistry

Surface Chemistry Tutorial

Thermal Plasma

Dielectric Barrier Discharge

Benchmark Model of a Capacitively Coupled Plasma

Model of an Atmospheric Pressure Corona Discharge

Computing the Ion Energy Distribution Function