Molecular Flow Module

模拟真空系统中的低压气体流动

Molecular Flow Module

在离子注入器中,沿离子束的分子平均数密度用作评估设计的品质参数。它必须通过硅片绕轴旋转角度的函数的形式计算。

精确仿真低压低速气体流动

分子流模块提供了一些先前不具备的仿真功能,用于复杂几何结构中的低压低速气体的精确模拟。它非常适合于真空系统的仿真,包括在半导体加工、粒子加速器和质谱仪中的系统。此外,还可以仿真微小孔道内的流体,例如,页岩气勘探和纳米多孔材料中的流动。

分子流模块使用快速角系数法来仿真稳态自由分子流动。您可以模拟等温和非等温分子流动,并自动计算气体分子的热通量贡献。模块中也包含了离散速度法,用于过渡流的仿真。

模拟自由分子流和过渡流的两种方法

分子流模块提供了两种替代方法,使您可以采用易控且精确方式求解低流和低压流动。模块提供了两个特定的物理接口,它们通过图形用户界面 (GUI) 配置模型输入,完成整个方程组的设定:

Molecular Flow in an Ion Implant Vacuum System

Adsorption and Desorption of Water in a Load Lock Vacuum System

Differential Pumping

Molecular Flow Through a Microcapillary

Outgassing Pipes

Rotating Plate in a Unidirectional Molecular Flow

Molecular Flow in an RF Coupler