具有等效电路的薄膜体声波谐振器
Application ID: 112881
本教学案例演示如何使用“参数估计”特征推导出 MEMS 谐振器的电路模型。这是一个使用“电路”接口创建的修正 Butterworth-Van Dyke 电路模型，用于表示“薄膜体声波谐振器”(FBAR)。其中使用“参数估计”研究求解模型中集总元件的参数。
案例中展示的此类问题通常可通过以下产品建模:
您可能需要以下相关模块才能创建并运行这个模型，包括：
- COMSOL Multiphysics® 和
- 以下模块之一： 声学模块, MEMS 模块, 或 结构力学模块 和
- 以下模块之一： AC/DC 模块, MEMS 模块, 等离子体模块, 或 半导体模块 和
- 以下模块之一： 电池模块, 化学反应工程模块, 非线性结构材料模块, 优化模块, 或 聚合物流动模块
建模所需的 COMSOL® 产品组合取决于多种因素，包括边界条件、材料属性、物理场接口及零件库，等等。不同模块可能具有相同的特定功能，详情可以查阅技术规格表，推荐您通过免费的试用许可证来确定满足您的建模需求的正确产品组合。如有任何疑问，欢迎咨询 COMSOL 销售和技术支持团队，我们会为您提供满意的答复。