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随着微机电系统 (MEMS) 制造技术的成熟,MEMS 正逐渐变得复杂。因此,特别为 MEMS 仿真模拟所设计的软件从未像现在这般重要。

观看本视频,学习 COMSOL Multiphysics MEMS 模块如何使 MEMS 器件的模拟变得简单。MEMS 模块用于模拟多物理场耦合效应,可以高精度地模拟最复杂的 MEMS 器件。例如机电、压电、压敏电阻、热-结构,以及流固耦合等物理场都能由其模拟。设计工程师很容易就能创建如执行器、传感器、谐振器、滤波器、超声换能器、生物MEMS等常见器件的模型。

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