通过拥有 150 年历史的“完美影像”系统实现光刻分辨率的 100 倍提升

Juan Carlos Miñano and Dejan Grabovičkić
Cedint Polytechnic University of Madrid
Spain

“完美影像”的理念,即一种小于产生图像的光线波长的分辨率,于 19 世纪中期由著名的苏格兰物理学家 James Clerk Maxwell 首次提出。在接下来的 150 年里,人们普遍认为,这种技术是不可能实现的,因为事实上光在小于或等于波长的点周围发生衍射。然后在 2009 年,苏格兰圣安德鲁斯大学的 Ulf Leonhardt,从理论上分析了这一现象,并表明了其焦点不受限于衍射极限。

马德里 Cedint Polytechnic University 的研究团队使用了仿真来证明 Leonhardt 的提议,并证明了衍射极限可以超越。研究团队提出使用一个装置来进行,他们将其称之为球状测波导(SGW)。

使用 COMSOL Multiphysics 软件和 RF 模块,研究团队能够证明可以为某些应用程序(如微波炉)制造这些 SGW。他们的下一个目标是设计一个电介质 SGW,使它在可见光谱中正常工作。

仿真结果显示了球状测波导(SGW)中的传输功率与不同漏极端口位置(使用了漏极端口中心与源极端口相对级之间 SGW 的内球面上的对应偏差进行标识,表示为波长的分数)的频率之间的函数关系。漏极端口进行小段位移后,功率大幅下降,这表明球状侧波导具有超分辨率特性。

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