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Plasma Modulex

脉冲 CCP 放电 中文

本教学案例演示如何建立脉冲电容放电模型。导通脉冲包含 13.56 MHz 下的 10 个激励周期,以及后续 100 个无激励周期。本例研究 I-V 特性、电子密度、温度和等离子体电位。 扩展阅读

氩/氧电容耦合等离子体反应器模型 中文

本教学案例求解氩气/氧气混合物中的一维电容耦合等离子体反应器,并讨论对电负性放电进行建模的重要方面和策略。 扩展阅读

全局模型与两项玻尔兹曼方程耦合 中文

电子能量分布函数 (EEDF) 在总体放电特性中起着重要作用。在本例中,我们研究氩等离子体的形成周期,其中着重分析 EEDF。等离子体由 1 kV 直流电源电压在 100 mTorr 下于 4 cm 间隙内产生 ... 扩展阅读

氮气中的双头流注 中文

本教学案例介绍了在大气压下对氮气中的双头流注的研究。初始的电子种子被放置在两个电极之间,这两个电极对气体施加 52 kV/cm 的初始电场,产生向电极传播的负和正流注。流注的电子密度、电场和传播速度与 ... 扩展阅读

干空气玻尔兹曼分析 中文

本模型通过求解两项近似玻尔兹曼方程来研究氮气和氧气混合物(背景干空气),并通过在电子碰撞截面上对电子能量分布函数进行适当积分来计算电子传递系数和源项。此外,本例还演示如何准备可导出的电子能量分布函数,以便用于“等离子体 ... 扩展阅读

阻抗匹配 中文

本教学案例在高功率和低功率下使用 L 型匹配网络驱动电容耦合等离子体。在低功率时,电流中的谐波较小,在选定功率值下可获得完美匹配。执行功率、频率和压力扫描,并研究它们对匹配功率传输比和效率的影响。最后 ... 扩展阅读

将电流-电压开关应用于模型

本例举例说明如何模拟终端 边界条件下电流和电压激励之间的切换。有关这一现象的更详细描述以及建模过程,请参阅博客文章“使用 AC/DC 模块控制电流和电压源”。 扩展阅读

玻尔兹曼直流辉光放电

此 App 对直流辉光放电建模,采用玻尔兹曼方程,两项近似 接口计算电子能量分布函数 (EEDF) 和电子传递属性。由于玻尔兹曼方程,两项近似 接口的输入参数(例如等离子体的电离度)事先 未知,因此要执行迭代过程 ... 扩展阅读

氮中的负流注 中文

流注放电是瞬态丝状放电,在存在强电场的情况下,可以在非导电背景中发展,这种放电可以获得较高的电子数密度,并因此获得与许多应用相关的高浓度化学活性物质。工业应用包括臭氧生成、污染控制以及表面处理。 ... 扩展阅读

通过两项玻尔兹曼方程耦合模拟 GEC ICP 反应器 中文

本教学案例通过求解与经典的两项近似法中的均质、瞬态电子玻尔兹曼方程全耦合的等离子体流体类型方程,对 ICP 反应器进行建模。针对空间的每个位置求解近似的玻尔兹曼方程,并通过电子平均能量将其与流体类型方程相耦合 ... 扩展阅读