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Plasma Modulex

热等离子体 中文

此模型模拟中等压力 (2 torr) 下的等离子体,这时等离子体仍未处于局部热力学平衡。在低压下,两个温度解耦,但随着压力的增加,这两个温度趋向于相同的极限。 扩展阅读

面内微波等离子体 中文

微波加热导致的放电可以非常简单,例如使用波导将平面波引导到反应器中,也可以非常复杂,例如在 ECR(电子回旋共振)反应器中的放电。在本案例中,微波发射到反应器中,产生氩等离子体。微波被等离子体部分吸收和反射,维持等离子体。 扩展阅读

ICP 反应器,氩化学 - 三维 中文

在 COMSOL 中可以执行三维等离子体建模。一个方形线圈置于电介质窗顶部,并受到 13.56 MHz 的电激励。等离子体在电介质窗下方的腔室中形成。腔室中含有低压 (20 mtorr) 氩气,气体从两个 2 ... 扩展阅读

热电发电机

在这个模型中,我们介绍了如何为起到热电发电机作用的塞贝克效应建模。塞贝克效应是材料温差导致电势差的现象。将该模型中绘制的电势与 Jaegle 的论文(示例 3)进行比较,可以发现二者非常吻合。 参考资料: ... 扩展阅读

静电除尘器 中文

该模型计算静电除尘器中的流体流动、电荷传输和电势。我们根据产生的场,将直径不同的颗粒馈送到设备中,并计算出传输概率。像预期的一样,当颗粒半径约为 0.2 微米时,分离效率达到最小值。 扩展阅读

正负电晕放电 中文

本教学案例研究大气压下干空气中的正负电晕放电。放电通过施加到内部电极的高压直流电源在同轴配置的两个电极内持续进行。使用两种不同类型的模型:完全自洽等离子体模型和简化模型 ... 扩展阅读

带射频偏压的氩/氯电感耦合等离子体反应器模型 中文

本教学案例求解氩/氯混合物中带有射频偏压的电感耦合等离子体反应器(也称为 ICP/CCP 反应器),其中计算了流体流动和气体加热,并讨论电负性放电建模的重要方面和策略。 扩展阅读

电容耦合等离子体

NIST 主办的气体电子学会议 (Gaseous Electronics Conference) 提供了一个研究电容耦合等离子体 (CCP) 反应器的平台,这是该 App 的基础。 ... 扩展阅读

微波腔等离子体反应器 中文

本教学案例求解微波腔中产生的氢等离子体,并以自洽的方式计算流体流动和气体加热。 扩展阅读

使用等离子体模块的表面化学反应教程 中文

表面化学反应通常是反应流建模中被忽视的方面。这个教学案例演示如何将表面反应和物质添加到化学气相沉积 (CVD) 这类研究过程中,随后模拟硅在晶片上的生长。 最初,使用全局模型来研究包含复杂化学物质的广泛参数区域。然后 ... 扩展阅读