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Plasma Modulex
面内微波等离子体 中文
微波加热导致的放电可以非常简单,例如使用波导将平面波引导到反应器中,也可以非常复杂,例如在 ECR(电子回旋共振)反应器中的放电。在本案例中,微波发射到反应器中,产生氩等离子体。微波被等离子体部分吸收和反射,维持等离子体。 扩展阅读
ICP 反应器,氩化学 - 三维 中文
在 COMSOL 中可以执行三维等离子体建模。一个方形线圈置于电介质窗顶部,并受到 13.56 MHz 的电激励。等离子体在电介质窗下方的腔室中形成。腔室中含有低压 (20 mtorr) 氩气,气体从两个 2 ... 扩展阅读
带射频偏压的氩/氯电感耦合等离子体反应器模型 中文
本教学案例求解氩/氯混合物中带有射频偏压的电感耦合等离子体反应器(也称为 ICP/CCP 反应器),其中计算了流体流动和气体加热,并讨论电负性放电建模的重要方面和策略。 扩展阅读
微波腔等离子体反应器 中文
本教学案例求解微波腔中产生的氢等离子体,并以自洽的方式计算流体流动和气体加热。 扩展阅读
使用等离子体模块的表面化学反应教程 中文
表面化学反应通常是反应流建模中被忽视的方面。这个教学案例演示如何将表面反应和物质添加到化学气相沉积 (CVD) 这类研究过程中,随后模拟硅在晶片上的生长。 最初,使用全局模型来研究包含复杂化学物质的广泛参数区域。然后 ... 扩展阅读