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二维偏压谐振器：稳态，特征频率，频域和吸合分析 中文
硅微机械谐振器长期以来一直用于设计传感器，如今作为消费电子市场的振荡器变得越来越重要。这一系列模型详细分析了作为微机械滤波器一部分的表面微机械 MEMS 谐振器。 “偏压谐振器的稳态分析 ... 扩展阅读
薄膜体声波结构的色散图 中文
此模型对教学案例“复合薄膜体声波谐振器”进行扩展，介绍如何根据仿真结果创建散射图。散射曲线可以根据波数的实值和虚值绘制，分别对应于传播模和消失模。我们可以通过绘制每种模式的位移场为其生成可视化效果 ... 扩展阅读
电容式微机械超声换能器 中文
电容式微机械超声换能器 (CMUT) 是一种微型接收器，可以将超声波转换为用于高分辨率成像应用的电信号。这种 CMUT 设计具有优化的力-位移特性，以提高转换效率。改进的核心是位移均匀性因子，可以通过“频域，预应力 ... 扩展阅读
薄膜体声波谐振器的 S 参数 中文
此模型对教学案例“复合薄膜体声波谐振器”进行扩展，介绍如何计算压电 MEMS 器件的 S 参数。S 参数的测量通常用于描述 RF 应用中这种器件的特征。通过“静电”物理场接口中的终端特征 ... 扩展阅读
RF MEMS 开关的吸合 中文
本模型分析了由悬挂在介电层上方的薄微机械桥构成的 RF MEMS 开关。在开关上施加大于吸合电压的直流电压时，机械桥塌向介电层，从而使器件的电容增大。模型中使用了基于罚函数的方法来模拟接触力 ... 扩展阅读
盘式谐振器的锚损耗 中文
此模型介绍如何计算金刚石盘式谐振器的锚损受限品质因子。谐振器通过多晶硅柱锚接在基板上，功率通过该柱传递到基板，使用完美匹配层来表示本质上无限大的基板。此模型基于 2007 年在格勒诺布尔市举办的 COMSOL ... 扩展阅读