薄膜谐振器中的残余应力 - 三维

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表面微机械加工的薄膜经常受到残余应力的影响。该 COMSOL Multiphysics 示例描述了带有直悬臂梁或折叠悬臂梁弹簧的薄膜谐振器,谐振器的谐振频率受热应力的影响,使用折叠弹簧减轻这种影响。

本例由四个模型组成:二维和三维的两个折叠悬臂梁弹簧薄膜谐振器,以及二维和三维的两个直悬臂梁弹簧薄膜谐振器,折叠的挠性件减轻了轴向应力。

案例中展示的此类问题通常可通过以下产品建模: