涡轮分子泵准二维模型

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如果涡轮分子泵叶片的平均半径远大于叶片间距,则泵中流动的蒙特卡罗仿真可以大大简化。在这些条件下,泵的旋转叶片可以近似为只有平移速度的无限排叶片。

此基准模型演示叶片速度、角度和间距对自由分子流态下分子通过单级涡轮分子泵的传输概率的影响。仿真结果与使用相同简化假设的之前发表结果非常一致。

案例中展示的此类问题通常可通过以下产品建模: